Analyse van de componenten van de EDS
Inleiding van het project
Energie dispersiespektrometrie (EDS) is een analytische techniek die wordt gebruikt voor de analyse en karakterisering van monsters.Het wordt gewoonlijk gebruikt in combinatie met een scanning elektronenmicroscoop en een transmissie elektronenmicroscoop om de soorten en de inhoud van de elementen in de micro-regio van het materiaal te analyseren: de kenmerkende röntgenstralen die worden gegenereerd wanneer de elektronenstraal met het materiaal in wisselwerking treedt, worden gebruikt om informatie te verkrijgen over de chemische samenstelling van het monster,en de meeste elementen (Be4-PU94) kwalitatief en semi-quantitatief kunnen worden gedetecteerd, en oppervlakteverontreinigingen kunnen worden geanalyseerd.

Laboratorium voor de analyse van componenten

Experimenteel beginsel
In moderne scanning-elektronenmicroscopen en transmissie-elektronenmicroscopen is de energie-dispersiespektrometer (EDS) een belangrijk accessoire.Het deelt een set van optische systemen met de hoofdmachine, en kan puntanalyse, oppervlaktanalyse en lijnanalyse uitvoeren over de chemische samenstelling van de onderdelen van belang in het materiaal.

Voordelen van EDS
(1) Snelle analysesnelheid en hoge efficiëntie.Het kan tegelijkertijd een snelle kwalitatieve en kwantitatieve analyse uitvoeren van alle elementen met atoomnummers tussen 11 en 92 (zelfs ultralichte elementen zoals C, N en O);
(2) Goede stabiliteit en goede herhaalbaarheid;
(3) Kan worden gebruikt voor onderdeelanalyse van ruwe oppervlakken (fracturen, enz.);
(4) Kan de onderdelensegregatie in materialen enz. meten.

Werkingsbeginsel van EDS
The probe receives characteristic X-ray signals → converts characteristic X-ray light signals into electrical pulse signals with different heights → amplifier amplifies the signals → multi-channel pulse analyzer encodes pulse signals representing X-rays of different energies (wavelengths) into different channels according to their heights → displays spectrum lines on the fluorescent screen → uses computers for qualitative and quantitative calculations.

Structuur van EDS
1. Detector: zet röntgenfotonsignalen om in elektrische pulssignalen en de pulshöhe is evenredig met de energie van de röntgenfotonen.

2Versterker: versterkt elektrische pulssignalen.

3. Meerdere kanalen pulshoogte-analysator: de pulsen worden geprogrammeerd in verschillende kanalen naargelang hun hoogte, dat wil zeggenEr zijn verschillende kenmerkende röntgenstralen die worden onderscheiden naargelang hun energie..

4- Signalverwerkings- en weergave-systeem: identificatie van het spectrum, kwalitatieve en kwantitatieve berekeningen; registratie van de analyseresultaten.

EDS-analyse
1Qualitatieve analyse: de pieken in het EDS-spectrum vertegenwoordigen de elementen die in de steekproef aanwezig zijn.identificatie van de elementenAls het type element niet correct kan worden geïdentificeerd, is de nauwkeurigheid van de definitieve kwantitatieve analyse zinloos.maar voor de bepaling van kleine of sporenelementen, alleen door zorgvuldig om te gaan met spectrale lijninterferentie, vervorming en het spectrale lijnsysteem van elk element kan het nauwkeurig zijn.De kwalitatieve analyse is onderverdeeld in automatische kwalitatieve analyse en handmatige kwalitatieve analyseAutomatische kwalitatieve analyse bepaalt de piekpositie volgens de energiepositie.Klik eenvoudig op de knop "Operatie/kwaliteitsanalyse" om het overeenkomstige elementsymbool op elke piekpositie van het spectrum weer te gevenAutomatische kwalitatieve analyse heeft een snelle herkenningssnelheid, maar als gevolg van de ernstige interferentie van spectrale piekoverlappingen zullen bepaalde fouten optreden.

2. kwantitatieve analyse: kwantitatieve analyse is het verkrijgen van de concentratie van de verschillende elementen die het monstermateriaal vormen door middel van de intensiteit van röntgenstralen.Er is een methode gezocht en voorgesteld om de intensiteitsverhouding van onbekende monsters en standaardmonsters te meten.De meest gebruikte kwantitatieve correctietechnologie is de ZAF-correctie.

3- analyse van de oppervlakteverdeling van de elementen: in de meeste gevallen wordt de elektronenstraal slechts op een bepaald punt van het monster afgevuurd om het röntgenspectrum en het bestanddeelgehalte van dit punt te verkrijgen,die de puntanalyse methode wordt genoemdIn moderne nieuwe SEM's kunnen de meeste van de verschillende componentenverdelingstoestanden van een bepaald deel van het monster worden verkregen, d.w.z. met behulp van een scanning waarnemingsapparaat,de elektronenstraal wordt tweedimensionaal op het monster gescand, en de intensiteit van de kenmerkende röntgenstralen wordt gemeten,zodat de helderheidsverandering die overeenkomt met deze intensiteit wordt gesynchroniseerd met het scansignaal en wordt weergegeven op de kathodestraalbuis CRT, en het tweedimensionale beeld van de verdeling van de kenmerkende röntgenstraling wordt verkregen.wat een zeer handige methode is voor het meten van de tweedimensionale verdeling van elementen.